VDP系列變螺距螺桿真空泵
VDP系列變螺距螺桿真空泵采用先進(jìn)的三段式變螺距轉子型線(xiàn),高效節能、運行可靠,極限真空可達1.33Pa,可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下高效持續工作。
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概述
VDP系列變螺距螺桿真空泵采用先進(jìn)的三段式變螺距轉子型線(xiàn),高效節能、運行可靠,極限真空可達1.33Pa,可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下高效持續工作。
VDP系列采用變螺距干式螺桿技術(shù),壓縮腔無(wú)需水或其他任何工作介質(zhì),避免泵送介質(zhì)的冷凝和沉積,并且防止介質(zhì)被油水污染,可獲得潔凈真空。廣泛應用于制藥、電子、化工、食品加工領(lǐng)域中的溶劑回收、真空干燥、真空蒸餾等工藝中。
技術(shù)特點(diǎn)
吸入效率提高15%
極限真空可達1.33Pa
三段式可變螺距,節能可達35%
高效夾套水冷降低排氣溫度50%
G1級轉子動(dòng)平衡,低噪音、低振動(dòng)、無(wú)慣性力,可高速運穩定行
結構簡(jiǎn)單、易保養、低維護費用,壽命長(cháng)
可選用機械密封、唇形密封,結構簡(jiǎn)單,密封可靠,確保零泄漏無(wú)故障
耐腐性能好,介質(zhì)接觸部位可噴涂哈氏合金涂層、特氟龍涂層、鎳基碳化鎢涂層
強腐蝕工況,泵體、螺桿等接觸物料的部件材質(zhì)可采用雙相不銹鋼、316L不銹鋼等
運行范圍廣,可在大氣壓到極限壓力間的任何壓力下持續工作
可與羅茨泵、分子泵等串聯(lián)使用,在高真空工況下獲得高抽速。
工作原理
是一種變螺距雙螺桿真空泵。一對螺桿轉子在腔體內旋轉。泵送的介質(zhì)被螺桿捕獲,經(jīng)壓縮后輸送至排氣口。在壓縮過(guò)程中,螺桿轉子間不相互接觸,也不與腔體接觸。壓縮腔無(wú)需潤滑油或工作液。冷卻方式既可以采用直接水冷,也可以采用空氣冷熱交換器實(shí)現散熱器冷卻。由于可選技術(shù)方案和附件范圍廣泛,VDP系列螺桿真空泵可完美地適應各種工藝需求。所有產(chǎn)品系列包括七種規格,額定抽速從每小時(shí) 200立方米至 3000 立方米。
結構優(yōu)勢
變螺距螺桿真空泵以其抽速范圍寬、結構簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(cháng)、能耗低、無(wú)水無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn),得到越來(lái)越多使用單位的青睞。變螺距螺桿真空泵能夠真正做到即保證清潔的被抽空間,又不污染周?chē)h(huán)境,號稱(chēng)21世紀綠色真空泵。
既可用于半導體行業(yè),又可用于石化行業(yè)??蓮V泛應用于電子、核能、化工、醫藥、食品工業(yè)等領(lǐng)域。在半導體工業(yè)中用于生產(chǎn)晶片、制造液晶顯示器、蝕刻、CVD制程;在核工業(yè)中用于核反應堆及核工業(yè)真空獲得;化工上用于真空蒸餾及溶劑萃取高效回收溶劑,在脂肪酸生產(chǎn)中用來(lái)消除水污染,清除噴射器中的阻塞物;醫藥工業(yè)中用于回收藥液及藥物中間體,為人造器官生產(chǎn)提供清潔無(wú)菌條件,回收氣體消毒劑;食品工業(yè)中用于香料、香精濃縮,食品包裝等。應用范圍極為廣泛,產(chǎn)品市場(chǎng)前景看好。
以變螺距螺桿真空泵為基礎的羅茨—螺桿真空機組,可以代替傳統的羅茨—水環(huán)真空系統,在醫藥、化工、食品行業(yè)廣泛應用,具有占用空間小、能耗低、壽命長(cháng)、可靠性好、無(wú)水蒸氣影響等優(yōu)點(diǎn),適合于各種氣體的排除和輸送。
優(yōu)點(diǎn)及特征
●完美的真空處理能力:100-3000m3/Hr。
●不使用油和水,不會(huì )造成油和水的污染。
●低功耗、低噪音、低振動(dòng),動(dòng)平衡好,沒(méi)有慣性力,可高速運行。
●設計結構簡(jiǎn)單,易保養,維修費用低,沒(méi)有易損件,壽命長(cháng)。
●適用范圍廣,具有高真空性能。
●使用壽命長(cháng),氣體接觸部位都具耐蝕耐涂層。
●可選用機械密封或唇形密封,密封可靠不會(huì )因污染而頻繁發(fā)生故障,軸承經(jīng)久耐用。
●涂層標準:耐蝕耐熱哈氏合金、特氟龍、鎳基碳化鎢
■標準配件:
基座和防護罩
排氣消聲器及進(jìn)氣分離器
過(guò)濾器
流量開(kāi)關(guān)
止回閥
真空計
■可選配件:
回收罐
排氣冷凝器
入口真空緩沖罐
溫度開(kāi)關(guān)
應用范圍
●變螺距螺桿泵在半導體合成及液晶生產(chǎn)上的應用,主要有半導體等離子增強氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝,液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0,以保護工件免受污染。
●變螺距螺桿泵在石油化工中的應用,主要是抽取可凝性氣體,或有毒氣體,或腐蝕性氣體,或含有微塵的氣體。
●制藥行業(yè),用于藥物的真空干燥,藥物中間體回收,回收氣體消毒劑,為人造器官提供清潔無(wú)菌條件等。
●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收,例如萃取回收丙酮,多元醇等工藝
●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統
●擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
●混合樹(shù)脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染,及噴射器中的阻塞物。
●涉及無(wú)油無(wú)水真空處理的所有應用
●食品行業(yè)用于香料,香精濃縮等。
技術(shù)參數
型號 |
抽氣量 |
極限壓力 |
電機功率 |
轉速 |
進(jìn)氣 |
排氣 |
冷卻水量 |
噪聲 |
重量 |
M³/h |
Pa |
KW |
rpm |
mm |
mm |
L/min |
dB |
Kg |
|
VDP-200 |
165 |
1.33 |
5.5 |
2900 |
50 |
40 |
10 |
75 |
250 |
VDP-320 |
260 |
1.33 |
5.5 |
2900 |
50 |
40 |
10 |
75 |
320 |
VDP-430 |
360 |
1.33 |
7.5 |
2900 |
65 |
50 |
15 |
78 |
380 |
VDP-650 |
550 |
1.33 |
11 |
2930 |
80 |
65 |
15 |
78 |
480 |
VDP-900 |
750 |
1.33 |
15 |
2930 |
100 |
80 |
20 |
80 |
600 |
VDP-1500 |
1250 |
1.33 |
30 |
2950 |
125 |
100 |
30 |
82 |
980 |
VDP-3000 |
2500 |
1.33 |
55 |
2950 |
200 |
125 |
40 |
82 |
1350 |
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